Високочутливі ємнісні датчики тиску мають великий потенціал застосування у взаємодіях людина-машина. Датчики тиску з мікроструктурним діелектричним шаром є обіцяними у таких застосуваннях завдяки своїм простим конфігураціям та швидкому часу відгуку. У даній роботі запропоновано високочутливий іонний датчик тиску з мікроструктурним діелектричним шаром. Для його створення використовувалася методика створення зразка знизу догори. Застосування мікроструктурної пам'яті полікарбонату дає змогу створювати мікроструктури конкавної менискусної форми (форма поверхні рідини, коли рідина вигинається в середину, утворюючи вглиблення), що дозволяє досягати помітної зміни ємності при застосуванні тиску. Встановлено, що даний датчик має чутливість 35,96 кПа-1, відмінну стійкість до повторних циклів тиску не менше 200 000, час відгуку 21 мс та межу виявлення 0,61 Па. Запропонований іонний датчик тиску може знайти застосування в робототехніці та людино-машинних взаємодіях, а методика створення капілярно-приводного конкавного менискусу може знайти застосування у вбудовуванній електроніці.